16. Februar 2024|Forschung
Transferprojekt entwickelt Messsystem für die Herstellung von Mikrochips
Eine bis zu 1000-fache Steigerung des Durchsatzes bei der Herstellung von Mikrochips – das ist das Ziel des Projekts „MEGA-EUV“, bei dem ein Team der Universität mit DESY und Partnern aus der Industrie kooperiert. Die dafür geplante Entwicklung einer hochleistungsstarken, extrem-ultravioletten Strahlquelle wird nun vom...